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第三百三十六章 风向变了

第三百三十六章 风向变了 (第1/2页)

通城,智云微电子总部,徐申学看了第二厂,视察了当地的十二纳米产线后,又去看了已经完成了厂房施工的第二十五厂。
  
  第二十五厂,也是智云微电子为等效七纳米工艺所准备的工厂,从厂房再到设备,全部都是按照等效七纳米工艺所准备的,整体投资预计会超过八十亿美元,相当夸张。
  
  “我们准备在第二十五厂里,同时建设两条产线,一条产线采用进口的ASML公司的NXT1980光刻机,第二产线则是采用海湾科技的HDUV-600光刻机!”
  
  “两种光刻机的套刻精度都是二点五纳米,按照我们的设计方案,都是能够满足等效七纳米工艺的技术需求!”
  
  “为了确保等效7纳米工艺准时准点的完成技术认证,我们在第一产线上全部使用进口设备,目前所有设备都已经下单,部分已经到货,第一台NXT1980光刻机将会在十天后到货,所有设备将会在今年十二月份前全部到货,明年第一季度就能够完成设备的安装和调试,并展开技术认证工作。”
  
  “乐观的话,明年第三季度就能完成技术认证,开始为量产化进行准备,但是考虑到四重曝光带来的低良率问题,我们想要解决这个低良率问题预计也需要大量的时间。”
  
  “想要大规模出货的话,恐怕还要到后年的第一季度。”
  
  “而我们的主要竞争对手台积电,按照他们公布的计划来看,他们的进度表和我们的也类似,毕竟我们是采用同一批的光刻机进行等效七纳米工艺产线的搭建,而光刻机的到货时间我们也差不多,硬件设备处于同一时间段,具体时间表也类似。”
  
  “至于后续谁能够做到领先,这还需要看彼此工艺技术上的比拼,而这一领域上我们是有优势。”
  
  “而四星那边也公布了八纳米工艺计划,但是根据目前的情报来看,他们的八纳米工艺在技术指标上看起来应该是十纳米工艺节点改进,性能提升不会很大,属于十纳米和七纳米工艺之间的过渡节点,类似他们的十一纳米以及我们的十二纳米工艺。”
  
  “而我们则是直接跳过了八纳米工艺,直接搞七纳米工艺。”
  
  “他们的七纳米工艺还要更往后一些。”
  
  “至于英特尔的话,他们并没有公布等效七纳米工艺,而是正在推进十纳米工艺的节点,不过他们的这个十纳米工艺节点在技术参数上,其实比我们的等效七纳米工艺还要更高一些。”
  
  “然而技术参数更高,也意味着更难,按照我们的预估,他们估计要更晚时间才能搞出来。”
  
  “按照目前收集的一些情报来推算他们的工艺节点研发,短期内我们在七纳米工艺上的主要竞争对手,还是台积电;英特尔的十纳米和四星的七纳米,会比我们晚不少!”
  
  “在等效七纳米节点的竞争中,我们将会维持领先优势!”
  
  丁成军对等效七纳米工艺的时间表,表现出来了极大的自信,这是基于梁松教授为核心的工艺研发团队来带的自信。
  
  “我们已经完成了四重曝光的基本理论以及工艺流程,就等着用这一批光刻机进行下一步阶段的各项测试工作了。”
  
  “等第一台NXT1980光刻机到货后,我们就会使用这台光刻机进行前期的技术测试,验证工作。”
  
  ——————
  
  丁成军此时,又指着第二十五厂的另外一个庞大厂房道:“这是我们第二十五厂的第二产线,基于扶持国产设备的缘故,我们的第二产线上将会尽可能采用国产设备,哪怕为此付出一些生产成本的上涨!”
  
  “第二产线上,核心设备包括海湾科技正在研发的HDUV-600型光刻机,此外还包括辅助使用的HDUV-500型号光刻机以及HKRF-34光刻机等,同时也包括后道光刻机,蚀刻机以及离子注入机等核心设备,只要海湾科技有的,技术指标能够达到要求的,我们都会使用!”
  
  “该产线的进度表也和第一产线类似,虽然核心的HDUV-600光刻机到货会晚一些,不过问题不大,应该也能够在后年的第二季度完成量产化。”
  
  “只不过该产线的生产效率要低一些,成本也会更高一些!”
  
  “生产效率上,还需要海湾科技继续努力了!”
  
  徐申学一边听着,一边看着手中的技术报告。
  
  两条等效七纳米工艺的产线,一条是清一色进口,而另外一条则是国产和进口设备混搭。
  
  其他的都还好,但是在光刻机领域还是可以看到明显的差距。
  
  这个时候,跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的CEO王道林道:“我们的HDUV-600型光刻机和ASML的NXT1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”
  
  “分辨率都是38纳米,数值孔径一点三五,套刻精度都是二点五纳米。”
  
  “这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标,少一个都不行。”
  
  “不过除了这三个核心指标外,还有一个指标上我们的HUDV-600光刻机就存在一些差距了,那就是WPH,即每小时处理晶圆片的数量。”
  
  “这个数据越大,光刻机单位时间内的产量就越大,产量越大,生产效率越高!”
  
  “作为对比,ASML的NXT1980光刻机,其WPH是二百七十五片。”
  
  “我们的HDUV-600光刻机的WPH,设计指标差一些,只有两百四十五片。”
  
  徐申学听罢:“这差距不小啊,回头落到生产过程里,那么就会导致生产成本的上涨!”
  
  王道林道:“是有一些差距,不过这也是没办法的事,我们时间太紧迫了!”
  
  “ASML的NXT1980光刻机,是基于全新研发的机台构架搞出来的,一开始的目的就是奔着更高的生产效率来的,再加上他们的技术积累更深厚,所以搞出来的NXT1980生产效率极高。”
  
  “而我们的HUDV-600型号光刻机,虽然也是采用新研发的机台构架,但是为了赶进度,采取了一些更加保守的技术应用策略,也大量使用了HDUV-500/400型光刻机机台上的技术。”
  
  “这样的研发进度更快,才能够在去年底拿出来样机,然后争取明年秋季开始出货。”
  
  “但是这样也导致了HDUV-600光刻机的生产效率就稍微低一些。”
  
  王道林这个时候,也看了眼同样关注此事的丁成军,开口继续道:“不过我们的HDUV-600的光刻机卖的更便宜,售后服务费用更低,最终反馈到芯片成本上,虽然会有一些上涨,但是也不会涨太多,属于可接受的范围。”
  
  “总归是不会让我们的客户吃亏的!”
  
  王道林的意思很明显,那就是既然我的东西差一些,那么我就少赚一些,让更多的利润给客户,不至于因为用了他们海湾科技的光刻机,就导致成本上涨。
  
  再说了,ASML的NXT1980光刻机是好,生产效率是高,但是普通晶圆厂也买不到啊!
  
  连智云微电子现在一年也拿不到多少货,其他国内的晶圆厂就更别提了。
  
  所以,国内晶圆厂短期内能够获得这种级别先进光刻机的途径,只有一家,那就是海湾科技。
  
  ASML的NXT1980这款光刻机,目前产量很低的,还是四大晶圆厂轮流排队拿货。
  
  至于其他厂商,都得往后排队等着!
  
  而等到明年,哪怕智云微电子不购买这款光刻机,其他三家以及后续的联电,格罗方德等厂商也会把订单挤爆ASML。
  
  ASML的先进光刻机,从不缺乏买家……
  
  国内的其他晶圆厂想要获得这款光刻机,可不容易!
  
  中芯那边就是典型例子,他们也想买ASML的NXT1980光刻机,但是买不到。
  
  同时他们也正在积极推动十四纳米工艺的研发,为此找海湾科技下单了HDUV-600型光刻机,准备用这款光刻机来搞十四纳米工艺。
  
  主要是用HDUV-500型光刻机,或同级别的ASML的NXT1970光刻机搞十四纳米工艺难度非常高……这几乎达到了这种级别光刻机的极限水平,中芯那边搞起来太吃力了。
  
  不是说不能搞,而是难度非常大……也不是所有晶圆厂都会和智云、台积电、四星以及英特尔这四家晶圆厂,为了市场竞争玩命推工艺节点进度,进而极限压榨光刻机的性能。
  
  比如用HDUV-600型光刻机或ASML1980光刻机搞等效七纳米工艺(英特尔10纳米)……也就这四家才打算这么干,其他晶圆厂可不会这么干的。
  
  难度太大,成本太高,前期要是找不到充足的高价订单,会亏到裤衩子都不剩!
  
  而目前,也只有这四家晶圆厂才有接到,或者本身就有这种先进工艺的订单,并且愿意给出高溢价。
  
  其他晶圆厂,暂时几乎不可能接到这种高溢价的顶级工艺订单。
  
  所以玩极限压榨光刻机性能这种事,也不是那么好玩的,很容易形成巨额亏损!
  
  使用更高一档的光刻机,然后反过来搞成熟制程,其实才是更符合商业化的选择,难度低,成本低,效率高。
  
  中芯那边就是打算直接用先进一代的HDUV-600光刻机来个力大飞砖,通过更先进一代的光刻机设备的强悍性能上马十四纳米工艺。
  
  而有类似想法的,还有其他晶圆厂厂商,只不过他们拿不到更先进光刻机的货而已……不管是ASML还是海湾科技,这种套刻精度二点五纳米级别的先进光刻机产能都是有限的。
  
  ASML那边不用说,前期有限的NXT1980供不应求,除了四大厂商外,其他的都得等!
  
  而海湾科技这边的HUDV-600型号光刻机则是还处于样机阶段,要年底才能出货,等到明年正式出货后产能也会非常有限。
  
  除了供应智云微电子外,短时间内也只会供应另外一家战略合作伙伴‘中芯’,其他厂商想要拿货,也得等好久!
  
  中芯某种程度上,也算是搭上了海湾科技发展的春风,能够顺利拿到这种级别的先进光刻机……不出意外的话,联电和格罗方德拿到NXT1980的时间,都会比中芯拿到HDUV-600的时间更晚。
  
  不过就算是中芯,到时候也拿不到太多的货,海湾科技的HDUV-600型光刻机,大部分还是需要供应给智云微电子。
  
  因为智云微电子除了需要使用这款光刻机玩等效七纳米工艺外,也需要使用这款光刻机来生产十纳米工艺,乃至十四纳米工艺节点的芯片。
  
  HDUV-600型光刻机,包括隔壁的ASML的NXT1980光刻机,其实从商业角度来看更适合生产10-14纳米工艺,至于等效7纳米工艺,那是玩极限,属于没办法的事。
  
  等效七纳米需要,然后等效十纳米,等效十四纳米这三大核心工艺节点都需要这款光刻机,因此未来这款光刻机的销量是会非常大的。
  
  不仅仅智云微电子需要,中芯以及国内其他晶圆厂也会需要。
  
  如果加上HDUV-500以及HDUV-400,未来乐观估计海湾科技的DUV浸润式光刻机,即ARFI光刻机,最近几年的年出货量能维持在四十台左右。
  
  然后海湾科技的ARF光刻机,即DUV干式光刻机目前也有一些销量,一年也能够卖出去十台八台的。
  
  上述两种深紫外光光刻机,总销量能够维持在五十台左右。
  
  然后还有KRF光刻机以及I-line光刻机,这两种光刻机,要么是用在成熟工艺上,要么是在先进工艺里作为辅助光刻机使用。
  
  海湾科技的KRF光刻机,一年也能卖个二十多台,然后I-line光刻机卖的更多一些,有个四十多台,这两种低端光刻机主要是作为辅助光刻机用的,购买海湾科技的ARFI光刻机的话,都会配套购买KRF或I-LINE光刻机。
  
  ARFI,ARF,KRF,i-line四种前道光刻机加起来,海湾科技的年出货量是能达到一百多台的。
  
  这一百多台的光刻机,除了i线以及k线光刻机可以出口外。
  
  

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